掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品簡介：

JSM-IT200掃描電子顯微鏡，是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。用來測定樣品微觀形貌結(jié)構(gòu)，可測樣品：土壤、水、金屬、巖礦、煤炭、油料、塑料、陶瓷、植物、保健品等多種樣品，

更新時間：2025-07-04

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

掃描電子顯微鏡

Unity BEX成像探測器 EBSD EDS 蔡司場發(fā)射電鏡柜式掃描電子顯微鏡臺式掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品介紹

JSM-IT200掃描電子顯微鏡

■ 主窗口ーZ e r o m a g 觀察ー

使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學(xué)C C D 圖像 *1 ，能尋找視野和定位分析位置。

■ 顯示譜圖和顯示元素顯示譜圖和顯示元素ーLive Analysis 分析 *2 ー

通過顯示譜圖和顯示元素，能確認正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。

■ 數(shù)據(jù)管理圖標數(shù)據(jù)管理圖標ーSMILE VIEW

T M

L a b 數(shù)據(jù)集中管理ー按下數(shù)據(jù)管理圖標并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后，從 S E M 圖像到分析，對全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報告、

查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。

J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時，開始觀察需要的視野。

按照導(dǎo)航流程操作，也可以安全、方便、可靠地交換樣品。

■ 樣品交換導(dǎo)航

樣品交換導(dǎo)航是從打開樣品室到開始觀察過程中進行導(dǎo)航的功能。

■ Zeromag

只需擴大光學(xué)圖像，就可以過渡到 S E M 圖像

Z e r o m a g 功能將與樣品臺位置關(guān)聯(lián)的樣品架示意圖、C C D 圖像 * （光學(xué)圖像）和S E M 圖像實現(xiàn)了聯(lián)動?？梢灾庇^地尋找分析區(qū)域，只需放大光學(xué)圖像就可以過渡到S E M 圖像，因而能防止弄錯觀察目標和樣品。

Zeromag 的特長

?能象用光鏡一樣直觀地移動視野

?可以預(yù)約多個分析區(qū)域的測試

?可以輕松回溯到已測試完的區(qū)域

Live Analysis

S E M 觀察過程中始終顯示元素分析結(jié)果

利用Live A n a ly s i s 功能，可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征X射線譜圖和自動定性的主要構(gòu)成元素名稱，還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis 的特長

?始終顯示特征X射線譜圖

?通過顯示樣品的主要構(gòu)成元素幫助發(fā)現(xiàn)意想不到的元素。

?對感興趣元素的標注“Alert"

利用SEM觀察窗口上配置的全域/區(qū)域面分布圖圖標能獲取整個觀察區(qū)域或需要區(qū)域的元素面分布圖。

可利用數(shù)據(jù)管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對采集的數(shù)據(jù)（如用譜圖、元素面分布圖、線分析對元素的再定位等）進行各種分析。

● 實時凈計數(shù)面分布圖／定量面分布圖

對每個像素點的譜峰進行分離，顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對凈計數(shù)面分布圖進一步校正計算，還有用定量值顯示的定量面分布圖。

● 強度面分布圖和凈計數(shù)面分布圖

Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰和Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近，在強度面分布圖中很難把Bi和Pb的峰*分開。通過顯示凈計數(shù)面分布圖，可以確認Bi元素原有的分布。

JSM-IT200掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格

設(shè)備型號		IT200
基本性能	二次電子像分辨率	3 nm (30 kV, 高真空) 8 nm (3 kV, 高真空) 15 nm (1 kV, 高真空)
	背散射電子像分辨率	4.0 nm (30 kV, 高真空)
	加速電壓	0.5 to 30kV
	放大倍數(shù)	5x to 300,000x
	EDS 分析	電制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮)
	EDS 分析	EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	工廠預(yù)對中燈絲
	電子槍偏壓	無縫式自偏壓
	聚光鏡	可變焦聚光鏡
	物鏡	超級圓錐形物鏡
	物鏡光闌	3段式可動(帶XY軸微調(diào))
	像散存儲器	內(nèi)置
	圖像移動	±50μm（WD 10 mm）
	探測器	二次電子探測器
	探測器	高靈敏度半導(dǎo)體型背散射電子探測器
自動化功能	自動燈絲加熱	內(nèi)置
	自動槍對中	內(nèi)置
	自動聚焦	內(nèi)置
	自動消像散	內(nèi)置
	自動亮度和對比度調(diào)整	內(nèi)置
樣品室	最大樣品尺寸	150 mm （直徑）
樣品室	可支持的選購附件	EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman
樣品臺	X	0 ~ 80 mm
	Y	0 ~ 40 mm
	Z	5 ~ 48 mm
	R	360 度
	T	-10 ~ 90 度
	最大視野范圍	127 mm （直徑）
	最大樣品高度	48 mm
	馬達驅(qū)動	2 (X, Y)
圖像顯示系統(tǒng)	PC?OS	Windows®10
	顯示器	24" LCD
	圖像存儲像素	320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels
	圖像保存格式	Format: BMP, TIFF, JPEG
操作系統(tǒng)	操作導(dǎo)航器	位于顯示屏下端的操作導(dǎo)航器可控制以下功能:用戶管理, 樣品交換, 菜單, 成像, 打印, 參數(shù)設(shè)定, 維護
測量功能	平行線間距測量	垂直, 水平, 對角
	2點之間距離測量	任意2點間距離
	圓的測量	直徑, 2個圓中心間距離
	角度測量	角度
	面積測量	圓和多角形
	計數(shù)	顆粒統(tǒng)計
真空系統(tǒng)	類型	全自動抽真空系統(tǒng)
	油擴散泵	420 升/秒
	機械泵	100 升/秒: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA)
外觀	基本單元尺寸	750 mm (橫) x 1,000 mm (縱) x 1,445 mm (高)
外觀	基本單元重量	325 公斤
安裝要求	室溫	20 ± 5℃
	濕度:	低于60%
	供電	單相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA

E DS 適用于A（Analysis）和LA（Low V a c u u m &Analysis）配置。

主要技術(shù)規(guī)格

		Basic（標配）	Standard
SEM 集成化	SEM 控制軟件內(nèi)置	●	●
	觀察/分析數(shù)據(jù)的集中管理
	在SEM 操作窗口上定位分析位置（從SEM的 GUI上直接分析)
	分析位置的圖形顯示
檢測器	SDD 類型	參照檢測器列表
譜圖分析	定性分析（譜峰鑒別、自動定性）	●	●
	Visual Peak ID
	無標樣定量分析（ZAF 法）
	標樣定量分析（ZAF 法） *4		●
	PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法
線分析	線分析（水平、任意方向	●	●
元素面分布圖	元素面分布圖（多色顯示、單色顯示、多色合成	●	●
	最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2
	實時彈出譜
	譜峰分離圖（凈計數(shù)面分布圖、定量面分布圖）
	實時凈計數(shù)面分布圖
	實時過濾器
	濃度分布曲線
	電子束追蹤
連續(xù)分析	譜圖分析、線分析、元素面分布	●	●
	測試完的數(shù)據(jù)的統(tǒng)一分析（定性、定量）
蒙太奇功能	自動制作蒙太奇（SEM 圖像、元素面分布圖）	●	●
	多區(qū)域連續(xù)元素面分布圖
顆粒度分析軟件	顆粒度分析（自動 / 手動）＆EDS 分析	○	○
	顆粒度分析數(shù)據(jù)的分類功能
	圖形顯示顆粒度分析數(shù)據(jù)的統(tǒng)計處理
	大區(qū)域的連續(xù)顆粒度分析＆ EDS 分析
	樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)上設(shè)定測試范圍
數(shù)據(jù)管理功能和生成報告	SMILE VIEW TM Lab	●	●
幫助功能	幫助導(dǎo)航	●	●
離線功能	與設(shè)備主機獨立的PC 上可以解析數(shù)據(jù)的離線軟件	○	○